售价1.45亿美元 ASML新一代EUV光刻机已交付客户

作者:贾桂鹏 来源:原创 2021-07-22

  近日,荷兰ASML公布了2021年第二季度财报。当季,ASML净销售额40亿欧元,毛利率为50.9%,净收入10亿欧元,净预订额83亿欧元,其中EUV极紫外光刻机就有49亿欧元,而总的积压订单金额已达175亿欧元。

售价1.45亿美元 ASML新一代EUV光刻机已交付客户

  在财报中显示,ASML第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机系统已经交付给客户,相比之前的NXE:3400C生产力提高了15-20%,覆盖率(套刻精度)提高了约30%。不过,ASML并未透露购买该机器的客户是哪家厂商。

  另外,ASML还表示,正努力增加EUV光刻机在存储行业的量产应用,计划协助三个DRAM内存芯片客户在未来的工艺节点中导入EUV。

  目前,ASML EUV光刻机还是第一代产品,EUV光源波长13.5nm左右,物镜NA数值孔径0.33,并发展了一系列型号。

  最早量产出厂的是NXE:3400B型号,产能有限,晶圆产能只有125PWH,目前的出货主力是NXE:3400C型号,产能提升到135WPH,而最新的NXE:3600D型号产能进一步提升到160WPH,价格据说也达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元)。

  第二代EUV光刻机将会是NXE:5000系列,物镜NA提升到0.55,进一步提高光刻精度,但原计划2023年问世,预计,现在推迟到2025-2026年,而价格预计将突破3亿美元。

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