售价1.45亿美元 ASML新一代EUV光刻机已交付客户

  近日，荷兰ASML公布了2021年第二季度财报。当季，ASML净销售额40亿欧元，毛利率为50.9%，净收入10亿欧元，净预订额83亿欧元，其中EUV极紫外光刻机就有49亿欧元，而总的积压订单金额已达175亿欧元。

  在财报中显示，ASML第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机系统已经交付给客户，相比之前的NXE:3400C生产力提高了15-20%，覆盖率(套刻精度)提高了约30%。不过，ASML并未透露购买该机器的客户是哪家厂商。

  另外，ASML还表示，正努力增加EUV光刻机在存储行业的量产应用，计划协助三个DRAM内存芯片客户在未来的工艺节点中导入EUV。

  目前，ASML EUV光刻机还是第一代产品，EUV光源波长13.5nm左右，物镜NA数值孔径0.33，并发展了一系列型号。

  最早量产出厂的是NXE:3400B型号，产能有限，晶圆产能只有125PWH，目前的出货主力是NXE:3400C型号，产能提升到135WPH，而最新的NXE:3600D型号产能进一步提升到160WPH，价格据说也达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元)。

  第二代EUV光刻机将会是NXE:5000系列，物镜NA提升到0.55，进一步提高光刻精度，但原计划2023年问世，预计，现在推迟到2025-2026年，而价格预计将突破3亿美元。